儀器特性：◆該系統配備一款通用型落射照明器，它可以滿足各種觀察需求，如
明場、暗場、簡易偏光、DIC以及落射熒光，根據工件或觀察目的，
可以選購高亮度12V-50W鹵素燈光源和白色LED光源；
◆這是一個基于一個不僅能測量長度，還能通過目鏡的觀察來檢查表
面的處理狀態或其它要素的顯微鏡的高附加值系統；
◆帶有閃爍控制的新光學系統可在大視野范圍內產生清晰的正像（2X
與常規產品相比，減少了80%的閃爍）；◆在一臺顯微鏡中集成了金相顯微鏡和測量顯微鏡的功能，能提供高
分辨率觀察和高精度測量；
◆在立柱兩側標準配Z軸粗/微調手柄，可進行精確調焦和觀察測量；
◆可選配視像裝置等多種選件，使標準測量顯微鏡更具魅力。
應用：半導體封裝、焊接貼片、環路高度、FPD面板(LCM)、MEMS、晶片級CSP、硬盤滑行磁頭。
技術參數：儀器型號 QI-U400 QI-U800 MM-U400 MM-U800
X Y測量行程 4*4 8*4 8*6 12*8 4*4 8*4 8*6 12*8
Z軸調焦 150mm 150mm 150mm 150mm
載重量 15Kg 15Kg 15Kg 15Kg
分辯率 0.001/0.0005/0.0001mm
測量精度 (2.5+L/200)um，L=測量長度（單位：mm）
鏡頭 三目鏡筒：目鏡帶十字線物鏡10X 四孔物鏡轉換器：5X、10X
放大倍率（選配） 光學放大倍率0.7-4.5X，影像放大倍率19－180X
影像系統（選配） 高解析度臺灣敏通1/2″彩色CCD攝像頭/高解析度日本WATEC 1/2″彩色CCD攝像頭
重復性 2um
操作方式 手動
外形尺寸 1000*600*1400mm 1200*720*1600mm 1000*600*1400mm 1200*720*1600mm
機身重量 100kg 120kg 100kg 120kg
工作臺底座 工作臺鑄鐵采用天然失效處理，配合瑞士進口SCHNEEBERGER導軌
*大工件高度 170mm
輪廓照明 LED DIA Illuminator (LED底部光源)
表面照明 LV-HL50W 12V50W-LL Halogen Lamp(鹵素燈泡) / 環形LED照明
電源 TE-PS100W Power supply (100-240v)電源 |
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