藍寶石拋光墊
SH-Q20拋光布廣泛應用于硅(Si)、鍺(Ge)、砷化鎵(GaAs)、藍寶石、水晶等粗拋以及精密拋光。日本的信越半導體(硅片)、京瓷(藍寶石)、并木(藍寶石)、俄羅斯MonoCrystal(藍寶石)、等多家公司都在使用該拋光布。
物性說明:
品名 (ARTICLE NO): SH-Q20
用途 (FOR USES) : CMP *粗研磨用
物理性質各項參數 ( PHYSICAL PROPERTIES )
項目 重量 厚度 密度 壓縮率 彈性率 硬度 絨長 開口徑
單位 g/m2 mm g/m3 % % Asker C μm μm
測定值 645 2.0 0.54 0.97 63 96 -- --
TEST
METHOD JIS-
K6328 JIS-
K6328 JIS-
K6328 JIS-
L1096 JIS-
L1096 JIS-
K6301 OWN
METHOD
(物理性質數據只是測定數值,不作為規格數值。)(The above is not standard, but measured figures.)產品特點:
v 能提高研磨效率,研磨面的表面狀態如均勻的毛玻璃狀態;
v 采用高硬度的不織布,使用壽命長;
v 可以用來金屬的研磨,并可以使用研磨砂,有相應實績;
v 可以根據用戶要求開槽。
同比市面上較多的羅門哈斯SUBA系列拋光布具有以下優點:
v 拋光壽命更長
v 價格更加低廉
v 性能與SUBA系列持平 |
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