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供應制冷劑R14（四氟化碳）廠家低價直銷

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公　司：衢州市興龍化工有限公司

發布時間：2015年06月11日

有效期：2015年12月11日

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公司主頁：	http://qzxlchemical.qy6.com.cn(加入收藏)

詳細說明

產品說明
四氟化碳 R14
"用途：
四氟化碳是目前微電子工業中用量*大的等離子蝕刻氣體，其高純氣及四氟甲烷高純氣配高純氧氣的混合氣，可廣泛應用于硅、二氧化硅、氮化硅、磷硅玻璃及鎢等薄膜材料的蝕刻，在電子器件表面清洗、太陽能電池的生產、激光技術、氣相絕緣、泄漏檢驗劑、印刷電路生產中的去污劑等方面也大量使用。"
物理性質
分子式 CF4
分子量 88
沸點 -128.1℃
臨界溫度 -45.67℃
臨界壓力 3.74Mpa
破壞臭氧潛能值 /ODP 0
全球變暖系數值 /GWP 1700
質量指標
外觀無色，不渾濁
氣味無異臭
純度 ≧99.90%
水份 ≤5ppm
氮氣，%（v/v） ≤0.03
氧氣，%（v/v） ≤0.01
二氧化碳 ≤10ppm
氟化碳 ≤20ppm
酸度 ≤0.1ppm
包裝規格
可重復充裝鋼瓶10L、40L

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