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通羅馬科技(北京)有限公司
| 聯系人：韓磊
先生 (經理) |
| 電 話：010-57130073 |
| 手 機：13910046648 |
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| 供應GIK小型等離子清洗機 臺式蝕刻機系統 進口小型納米級緊湊型 |
GPC-102 A等離子清洗機技術特征：
 緊湊型臺式等離子清洗設備，無射頻輻射危害，通過CE/EMC、CE/LVD、ROHS及FCC VOC認證。
 射頻（RF）功率無極調節，可根據應用需要自由設置。
 等離子清洗機整體適配與惰性氣體如大氣、氬氣、氮氣，活性氣體氧氣、氦氣、氫氣或混合氣體等工藝氣體使用。
 適用于超凈間，無需配備其它附件即可使用。
 全套工藝氣體管路采用特氟龍（teflon）材質及美國Swagelok高質316不銹鋼閥門。
高配機型GPC-102 （替代 Harrick PDC-32G-2及PDC-FMG-2 PlasmaFlo、EQ-PDC-32G等離子清洗機）等離子清洗機規格：
等離子清洗機真空反應艙尺寸：內徑4.0英寸（102毫米），7.9英寸（200毫米） 深
等離子清洗機真空反應艙材質：純石英 （99.99%二氧化硅）
等離子清洗機輸入功率：150W（*大）
等離子清洗機工作頻率：13.56MHz
等離子清洗機射頻功率：0W~30W 功率旋鈕連續調節
等離子清洗機重量：16公斤（約）
等離子清洗機尺寸：12.3英寸（312毫米）高x 30英寸（762毫米）寬x 12.4英寸（315毫米）深
等離子清洗機真空計：熱偶式、數碼顯示、實時監控真空反應艙內壓力。
等離子清洗機流量氣體混合計：配備氣體流量控制系統，可以精密控制工藝氣體喂入及混合。
等離子清洗機配套托盤：純石英材質 規格 |
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