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RTP快速退火爐

詳細說明

    RTP快速退火爐的主要技術參數如下

加熱元件:鹵素電極;

電極數量:12支;

整機功率:7.2KW;

升溫速率:200℃/Second;

降溫速率:30秒(1000℃ → 400℃);

*高溫度:1100℃;

溫度精度:+/- 1℃;

*大樣品尺寸:4英寸;

氣氛環境:真空、氣體(氮氣、氬氣、氧氣)、空氣;

真空系統:可根據實際需要選配無油機型泵或者分子泵

應用領域:

-快速熱退火

- 快速熱氧化

- 快速熱氮化

- 硅化

- 擴散

- 化合物半導體退火

- 離子注入后退火

- 電極合金化

- 晶向化和堅化

- 合金熔點分析;

- 薄膜沉積; 等等…

 
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