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諾巴迪材料科技有限公司
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| RTP快速退火爐 |
商品簡述：NBD T系列高溫快速熱處理退火爐簡稱RTP。
該產(chǎn)品采用國際先進(jìn)制造工藝，造型新穎結(jié)構(gòu)合理；
目前已被各種試樣實(shí)驗(yàn)多次驗(yàn)證，并已廣泛用于半導(dǎo)體器件研發(fā)及生產(chǎn)等領(lǐng)域；
該系統(tǒng)主要用于：
1.可滿足離子注入后的快速退火；
2.也可用于歐姆接觸快速合金；
3.還可用于硅化物合金退火，氧化物生長；
4.以及銅銦鎵硒光伏應(yīng)用中的硒沉積等快速熱處理工藝場(chǎng)合。
該設(shè)備是國家專利保護(hù)產(chǎn)品，專利號(hào)：CN201310005931.6
RTP快速退火爐主要技術(shù)參數(shù)
型 號(hào) *高
溫度 *快升溫速率
℃/S 管 徑 處理晶片 加熱區(qū) 恒溫區(qū)±2℃ 外形尺寸mm 功率 重 量
(內(nèi))mm 尺寸 in 長度mm 長度mm 長 高 深 Kg(約）
NBD-HR1200-110IT-170 1200℃ 500 103 4″ 200 120 800 540 750 AC380V15kw 4 |
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