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諾巴迪材料科技有限公司
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RTP快速退火爐 |
商品簡述:NBD T系列高溫快速熱處理退火爐簡稱RTP。
該產品采用國際先進制造工藝,造型新穎結構合理;
目前已被各種試樣實驗多次驗證,并已廣泛用于半導體器件研發及生產等領域;
該系統主要用于:
1.可滿足離子注入后的快速退火;
2.也可用于歐姆接觸快速合金;
3.還可用于硅化物合金退火,氧化物生長;
4.以及銅銦鎵硒光伏應用中的硒沉積等快速熱處理工藝場合。
該設備是國家專利保護產品,專利號:CN201310005931.6
RTP快速退火爐主要技術參數
型 號 *高
溫度 *快升溫速率
℃/S 管 徑 處理晶片 加熱區 恒溫區±2℃ 外形尺寸mm 功率 重 量
(內)mm 尺寸 in 長度mm 長度mm 長 高 深 Kg(約)
NBD-HR1200-110IT-170 1200℃ 500 103 4″ 200 120 800 540 750 AC380V15kw 4 |
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