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青島福潤德微電子設備有限公司
聯系人：張琪 先生 (銷售)
電 話：4008081566
手 機：13969693848

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LPCVD設備，山東青島廠家源頭發貨，支持定制

詳細說明

    滿足半導體集成電路，電力電子器件，光電子等行業用于在硅片上淀積SiO2、Si 3N4、Poly-Si、磷硅玻璃、硼硅玻璃、非晶硅及難熔金屬硅化物等多種薄膜工藝。



VD系統性能特點：



結構形式：1—4管臥式熱壁型

硅片規格：2—8英寸硅片(或125×125mm、156×156mm方片)

溫度范圍：300～1100℃

恒溫區長度及精度：200ram—1000mm(±1℃／24h)

淀積薄膜均勻性：片內±5％   片間±5％   批間±5％

沉積膜厚度：600～15000A

系統極限真空度：優于1Pa

工作壓力范圍：20～133Pa閉環控制

控制方式：工業微機

送料裝置：懸臂推拉舟、軟著陸系統

淀積薄膜分類：Si 3N4、SiO2、PSG、Poly-Si膜

真空泵：羅茨泵、機械泵

工藝氣路：5路氣／管。VCR接口

40KHz脈寬調制AE高頻電源

裝片量：200片／舟

 
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張琪 先生 (銷售)  
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公司地址： 中國山東青島市城陽區北萬工業園
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