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氧化擴散爐

詳細說明

    氧化擴散爐性能特點:

◆具有可編程的升、降溫功能

◆采用濾波器、屏蔽板等裝置,有效解決電網、磁場的干擾

◆windows xp全中文視窗操作系統,可儲存1000條曲線,每條曲線設置30步

◆自動運行中可暫停/繼續運行功能

◆智能升降溫斜率控制功能

◆PlD參數自整定功能,可存儲多組PlD參數供系統運行調用功能

◆系統故障的檢測與報警功能、系統誤差修正(單點或多點動態修正功能)

◆具有停電后斷點繼續運行功能

◆工藝方式:干法氧化、濕法氧化、水汽氧化

 
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