陽能擴(kuò)散爐主要滿足光伏電池生產(chǎn)線對多晶硅、單晶硅硅片進(jìn)行擴(kuò)散工藝。目前有代閉管擴(kuò)散爐和第三代軟著陸擴(kuò)散爐。
◆工作溫度：300~1300℃
◆有效口徑根據(jù)用戶擴(kuò)散片確定，可訂制
◆恒溫度：1080mm（可根據(jù)用戶要求定制）
◆溫區(qū)精度（靜態(tài)閉管測試）：
600℃＜工作溫度＜1200℃：±0.5℃
300℃≤工作溫度≤600℃：±1℃
◆單點(diǎn)溫度穩(wěn)定性（靜態(tài)閉管測試）：
600℃＜工作溫度＜1200℃：±0.5℃/24h
300℃≤工作溫度≤600℃：±1℃/24h
◆溫度斜變能力：
可控升溫速度（300～1300℃）：15℃/min
降溫速度（1300～900℃）：5℃/min
◆氣體流量設(shè)定精度：±2％FS
◆氣路氣密性：1×10-7PA.m3/s
◆自動送料裝置行程：~2000mm
速度：5~1000mm/min
SiC漿承重 19kg
◆裝片數(shù)量 400片/管
◆凈化臺潔凈度 100級（10000級廠房）
◆三相五線制 380V±10%，50Hz±10%Hz；
◆冷卻水：2～4Kgf/cm2，～8 |
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