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實際測量系統由載物臺，用于晶圓反饋的視覺系統，以及用于收集實際測試數據的光學和電子測量提示，該平臺可以在X，Y和Z方向執行納米級--以及在ф的幾分之一度，相機可以沿Z軸以進行自動對焦，在測量過程中。
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伺服驅動器過壓維修方法
1、確定過壓原因：首先，需要診斷過壓故障的具體原因。這可能包括電源電壓過高、電機堵轉、驅動器內部元件故障等。
2、檢查電源電壓：使用萬用表等工具檢查伺服驅動器的電源電壓是否超過其額定值。
3、如果故障較輕，可以先嘗試斷電重啟伺服驅動器，有時可以解決暫時性的過壓問題。確認電機是否處于堵轉狀態，如果是，則需要排除電機故障。
4、打開驅動器外殼，檢查控制板、電容器、電阻等元件是否有燒焦、損壞或短路的跡象。特別注意檢查與電壓調節和過壓保護相關的電路和元件。
5、確保所有接線都牢固、無損壞，并且正確連接到相應的端子。檢查接地線是否良好，以避免接地故障引起的過壓。
6、重新設置參數：根據驅動器的說明書或廠家的建議，重新設置相關參數，如速度搜索參數、加減速時間等。
7、安全操作：在維修過程中，要確保設備處于斷電狀態，并使用必要的防護措施，如穿戴絕緣手套、使用防靜電手環等。
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