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福建華清靜電吸盤用氮化鋁陶瓷

詳細(xì)說明

    氮化鋁優(yōu)良絕緣,高頻損耗小,耐熱,熱膨脹系數(shù)小,機(jī)械強(qiáng)度大,熱傳導(dǎo)好,耐化學(xué)腐蝕,穩(wěn)定,熱導(dǎo)率高,光傳輸特性好,電性能優(yōu)良,機(jī)械性能好,尺寸大小及厚度可根據(jù)顧客要求定制。公司已經(jīng)擁有一整套從日本、美國等國進(jìn)口的、配備完善的電子陶瓷生產(chǎn)設(shè)備和檢測儀器,是一家規(guī);⒉捎昧餮臃ㄉa(chǎn)氮化鋁陶瓷基板的企業(yè),主導(dǎo)產(chǎn)品是氮化鋁陶瓷基板及其相關(guān)電子元器件。與國外同行企業(yè)相比較,在氮化鋁陶瓷基板流延漿料配制、低溫?zé)Y(jié)等方面,公司自有的氮化鋁陶瓷流延法生產(chǎn)技術(shù)與工藝,所生產(chǎn)的氮化鋁陶瓷基板具有高的熱導(dǎo)率、較低的介電常數(shù)和介質(zhì)損耗、優(yōu)良的力學(xué)性能,可廣泛應(yīng)用于電子信息、電力電子等高技術(shù)領(lǐng)域。開發(fā)了一種將氮化鋁 (AlN) 直接晶圓鍵合到鍍有 AlN 的晶圓的方法。晶圓直接鍵合需要光滑、平坦、親水的表面,這些表面能夠被適當(dāng)帶電的氫分子表面處理。華清可以提供非常光滑(Ra≤0.03um)和平坦表面的AlN襯底。我們的氮化鋁基板 (AlN) 有各種尺寸和厚度可供選擇。靜電吸盤 (ESC) 用于各種半導(dǎo)體工藝,以在加工過程中固定晶圓。ESCs采用帶有集成電的壓板,用高壓偏置在壓板和晶圓之間建立靜電保持力,從而“夾住”晶圓。氮化鋁陶瓷具有高導(dǎo)熱性和絕緣性能,可以作為ESC材料。得益于大量的實(shí)時(shí)庫存,我們可以快速運(yùn)送您的零件,以便您開始您的項(xiàng)目。請(qǐng)聯(lián)系我們定制。我們還可以提供導(dǎo)熱系數(shù)高達(dá) 230W/mK 的氮化鋁 (AlN) 陶瓷。

 
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