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四氟化碳四氟甲烷R14制冷劑生產廠家 |
四氟化碳,又名四氟甲烷,化學式為CF4,它既可以被視為一種鹵代烴(有機物),也可以被視為一種無機化合物,常溫常壓下為無色氣體,不溶于水,溶于苯和氯仿,主要用于各種集成電路的等離子刻蝕工藝,也用作激光氣體、低溫制冷劑、溶劑、潤滑劑、絕緣材料、紅外檢波管的冷卻劑。
基本信息
化學式:CF4
分子量:88.004
CAS號:75-73-0
EINECS號:200-896-5
理化性質
熔點:-184℃
沸點:-130℃
臨界溫度:-45.5℃
臨界壓力:3.74MPa
折射率:1.113(-53oC)
飽和蒸氣壓:13.33kPa(-150.7℃)
外觀:無色氣體
溶解性:不溶于水,溶于苯和氯仿
用途
主要用于各種集成電路的等離子刻蝕工藝,也用作激光氣體、低溫制冷劑、溶劑、潤滑劑、絕緣材料、紅外檢波管的冷卻劑。
儲存方法
儲存于陰涼、通風的不燃氣體專用庫房。遠離火種、熱源。庫溫不宜超過30℃。應與易(可)燃物、氧化劑分開存放,切忌混儲。儲區應備有泄漏應急處理設備。 |
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