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四氟化碳四氟甲烷R14制冷劑生產廠家

詳細說明

    四氟化碳,又名四氟甲烷,化學式為CF4,它既可以被視為一種鹵代烴(有機物),也可以被視為一種無機化合物,常溫常壓下為無色氣體,不溶于水,溶于苯和氯仿,主要用于各種集成電路的等離子刻蝕工藝,也用作激光氣體、低溫制冷劑、溶劑、潤滑劑、絕緣材料、紅外檢波管的冷卻劑。



基本信息

化學式:CF4

分子量:88.004

CAS號:75-73-0

EINECS號:200-896-5



理化性質

熔點:-184℃

沸點:-130℃

臨界溫度:-45.5℃

臨界壓力:3.74MPa

折射率:1.113(-53oC)

飽和蒸氣壓:13.33kPa(-150.7℃)

外觀:無色氣體

溶解性:不溶于水,溶于苯和氯仿



用途

主要用于各種集成電路的等離子刻蝕工藝,也用作激光氣體、低溫制冷劑、溶劑、潤滑劑、絕緣材料、紅外檢波管的冷卻劑。

儲存方法

儲存于陰涼、通風的不燃氣體專用庫房。遠離火種、熱源。庫溫不宜超過30℃。應與易(可)燃物、氧化劑分開存放,切忌混儲。儲區應備有泄漏應急處理設備。

 
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