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產(chǎn)品目錄

玻璃晶片旋轉(zhuǎn)刷洗清洗機(jī)

詳細(xì)說明

    半導(dǎo)體硅片、晶圓、晶片旋轉(zhuǎn)刷洗清洗機(jī)

產(chǎn)品描述:

1.該設(shè)備為單工位多工能清洗工藝,主要由:旋轉(zhuǎn)洗劑刷洗、旋轉(zhuǎn)噴淋漂洗及旋轉(zhuǎn)甩干三部分組成;整個清洗流程為全自動工作方式;只需人員完成放料出即可;

2.該設(shè)備設(shè)計(jì)先進(jìn)、合理,充分考慮了環(huán)保和節(jié)能的要求;

3.采用全封閉式結(jié)構(gòu),設(shè)備封罩前、上、左右設(shè)透明鋼化玻璃;可時(shí)時(shí)觀察產(chǎn)品清洗情況;

4.設(shè)備后部設(shè)有洗劑副槽和漂洗水副槽,設(shè)備底部設(shè)有各自供液泵;

5、旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)主要由:電機(jī)、旋轉(zhuǎn)基座、旋轉(zhuǎn)盤、產(chǎn)品及工裝組成;

6、旋轉(zhuǎn)盤轉(zhuǎn)速由三菱變頻器控制;

7、設(shè)封罩上設(shè)有排氣口,保持運(yùn)行時(shí)的風(fēng)始終外溢,避免清洗室內(nèi)產(chǎn)生水汽,也不會對清洗的產(chǎn)品產(chǎn)生二次污染;

8、設(shè)備正面設(shè)有后翻式氣缸門,供進(jìn)出料用;

9、每個工藝工序清洗、刷干時(shí)間可跟據(jù)實(shí)際情況在觸摸上設(shè)定;

應(yīng)用范圍:本清洗機(jī)適合于半導(dǎo)體硅片、晶片、晶圓、鏡片等清洗和干燥,完全能適合千級以上的環(huán)境下使用。



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