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DLC類金剛石涂層 氣相沉積 |
DLC涂層是類金剛石涂層。主要有兩種方式實現(xiàn),一種是CVD,化學氣相沉積,還有一種是PVD,物理氣相沉積,IP的意思是Ion plating,是離子鍍,是PVD技術(shù)的一種。
DLC一般是黑色的,非常的耐磨、防滑,IP涂層就是離子鍍涂層,用來做DLC的也比較多。
類金剛石涂層或簡稱DLC涂層是一種非晶態(tài)膜,基本上可分為含氫類金剛石(a-C:H)涂層和無氫類金剛石涂層兩種。含氫DLC涂層中的氫含量在20at.%-50at.%之間,sp3成分小于70%。無氫DLC涂層中常見的是四面體非晶碳(ta-C)膜。ta-C涂層中以sp3鍵為主,sp3含量一般高于70%。
類金剛石涂層或簡稱DLC涂層是含有金剛石結(jié)構(gòu)(sp3鍵)和石墨結(jié)構(gòu)(sp2鍵)的亞穩(wěn)非晶態(tài)物質(zhì),碳原子主要以sp3和sp2雜化鍵結(jié)合。 |
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