激光器特點(diǎn)
l 長(zhǎng)期工作穩(wěn)定性高
l RS232控制，外部GATE，TRIGGER控制
l 支持PWM功率控制
l LD模塊可現(xiàn)場(chǎng)更換
l TEM00基模輸出（M2<1.3）
l 體積小，結(jié)構(gòu)緊湊
l 重復(fù)頻率30kHz-100kHz可調(diào)
應(yīng)用范圍
l 薄膜蝕刻
l 材料微加工
l 微孔加工
l 晶圓切割
l 科學(xué)研究等
l 激光標(biāo)記
技術(shù)參數(shù)
型號(hào) RM355Q-3W
波長(zhǎng) 355nm
功率 3W@30KHz
單脈沖能量 100μJ@30kHz
頻率 30~100kHz
脈寬 <20ns@30KHz
光斑模式 TEM00 (M2<1.3)
光束直徑 0.5±0.1mm
功率穩(wěn)定性 <3% RMS over 8 hours
脈沖穩(wěn)定性 <3% RMS over 10mins
光點(diǎn)穩(wěn)定性 <50μrad
光束發(fā)散角 <2mrad (full angle)
光斑圓度 >90%
控制方式 RS232, Gate, Trigger
制冷方式 Air-cooling
偏振方向 Horizontal
偏振比 >100:1
環(huán)境溫度 15°C ~ 35°C
相對(duì)濕度 10% ~ 80%（無(wú)結(jié)露）
預(yù)熱時(shí)間 <15mins
工作電壓 90V ~ 260 |
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