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青島泰斯邁儀器設(shè)備有限公司
| 聯(lián)系人：張女士
女士 (商務(wù)) |
| 電 話：0532-82021500 |
手 機(jī)：17685756785  |
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| 濺射臺(tái)CS-200 |
產(chǎn)品特性：
• 通過(guò)利用常規(guī)過(guò)程數(shù)據(jù)和專有技術(shù)重新設(shè)計(jì)了易用性
• 通過(guò)在負(fù)載鎖定室中安裝暗盒機(jī)構(gòu)（可選）來(lái)提高生產(chǎn)率
• zui大基板傳送尺寸為Φ300mm（在中心Φ200mm處保證了厚度分布）。
• 支持堆疊/同時(shí)濺射多個(gè)陰極
• 通過(guò)觸摸屏和配方輸入自動(dòng)處理，節(jié)省了人工
• 可以記錄數(shù)據(jù)
產(chǎn)品應(yīng)用：
• 電極成膜/多層電極及同時(shí)成膜應(yīng)用
• 形成狄登膜，絕緣膜，鈍化膜，保護(hù)膜等
• 用于電子零件和小規(guī)模生產(chǎn)的研發(fā) |
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