Simco-Ion 5810i 懸掛型離子風機,設計配合關鍵環境的要求,擁有業界領先的離子平衡控制性能;取得ISO Class 4 潔凈房內使用的認證,在潔凈環境下,提供優越的效能。采用專用的穩態直流電離技術,能消除 ESD 和所引起的電磁干擾,在先進生產設施內,也可提供離子輸出。能外接感應器,隨環境調整離子輸出,以達至和維持 少于 ±1 V 的離子平衡。
5810i 選用 Silicon Free 空氣軸承風扇,每個風扇的其他部分和外殼,都是密封和經過清潔處理,完全符合現今潔凈房的生產環境,兼容關鍵潔凈的制程。如使用的離子風機,不符合潔凈標準,會有污染制程的風險,降低良率。
5810i 離子風機可利用 AC 輸出接口串聯其他的 5810i離子風機共同工作,多可串聯十臺。
特點
±3 V 或更好的離子平衡 (配合選配的外接回饋系統能達至±1 V)
選配的外接感應器,設備監控接口,報警和控制管理
選配的自動清潔系統
優點
在電暈放電技術的靜電防護中,提供保護和產出
提供瞬時報警通知,和避免擅自調整效能和風速
自動清潔靜電針組,減少維護時間和成本
±1V 操作
5810i 離子風機的選配外接感應器, 可接連Novx Process Monitor 7000 系列,Novx 被動檢測系統 3352 系列,和Novx 主動檢測系統3362 系列,作出檢測和自動調整離子平衡。把天線放到目標位置, 信號會回饋到 5810i的控制線路,以達到和維持離子平衡在±1 V或更好的效能。 |