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東莞市宏誠光學制品有限公司
| 聯系人:錢云蕾
先生 (業務總監) |
| 電 話:0769-23106300 |
手 機:15112732962  |
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| 轉讓二手光弛1550鍍膜機 |
產品名:OTFC- -1550DBI 型式:1500DBI
1.產品參數:
真空室中1550 X 1800mm(H)
工件架φ1400mm工件架轉速10rpm to 30rpm (可變)
光學膜厚控制HOM2- R-VIS350A
波長范圍:350nm to 1100nm 光學膜厚監控儀反射式/透射式
水晶式膜厚計XTC/3+6點式水晶傳感器
蒸發源電子槍2套
離子源17cmRF 離子源
機械泵:排氣系統2個擴散泵Polycold(或2 個冷凝泵)
2.性能:達到壓力7.0X10-5Pa以下排氣時間20分 (大氣壓,1.3X10- 3Pa)基板溫度*高:350
3.工作條件:約5500mn(W) X 7200mm()X設備尺寸3700mm(H) 3相, 200v, 50/60Hz,電源約120KVA 水流量180 升/分以上 空氣壓力0. 5MPa以上
重量約11000k |
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