濺射靶材
我們通過將熔化技術(shù)，燒結(jié)技術(shù)，合成技術(shù)以及加工技術(shù)進(jìn)行技術(shù)融合，可以對(duì)各種素材，純度以及形狀的產(chǎn)品進(jìn)行處理。
金屬靶材
高純度金屬 Al, Co, Cu, Fe, Mg, Mn, Sn
高熔點(diǎn)金屬合金 Cr,Mo,Nb,Ta,Ti,V,W系列的合金
非磁性合金 Al, Bi, Cu, Mg, Sn, Zn系列的合金/ Bi2Te3, Mg2Si
磁性合金 Co, Fe, Ni系列的合金/ Co-Fe-B, Co-Pt, Fe-Pt
赫斯勒合金 Co, Fe, Ni基赫斯勒合金
Mn系列的合金 Mn-Al, Mn-Bi, Mn-Ga, Mn-Ir, Mn-Si
貴金屬合金 Au,Ag,Pt,Pd系列的合金
無機(jī)化合物靶材
氧化物 Al2O3,MgO,SiO2,TiO2,ZnO,La2O3，ITO,PZT,STO,LiCoO2,Li4Ti5O12,Li3PO4
碳化物 SiC,B4C,WC
其他化合物 氮化物，氟化物，磷化物，硫化物，硒化物
復(fù)合靶材
金屬相 Co-Cr-Pt, Fe, Fe-Ni, Fe-Pt等各種純金屬・合金
非金屬相 Al2O3, MgO, SiO2等各種氧化物・氮化物
標(biāo)準(zhǔn)尺寸一覽
圓球形 直徑 φ50.8、φ76.2、φ101.6、φ127、φ152.4、φ203.2、 φ254、φ304.8、φ355.6、φ406.4、φ508、φ533.4
矩形 平面尺寸 127×304.8、127×381、127×508、127×558.8、152.4×508
厚度 ｔ3、ｔ5、ｔ6.35
高純度材料
我們秉持著「高純度材料是技術(shù)革新的源泉」的信念，對(duì)各種高純度材料進(jìn)行開發(fā)及生產(chǎn)。
Al ～6N Mn ～4N
Co ～4N5 Sn ～5N
Cu ～6N Ti ～5N
In ～5N Zn ～5N
Mg ～4N5 其他各種合金（Co-Fe-B等）
高純度Mg
我們秉持著「高純度材料是技術(shù)革新的源泉」的信念，對(duì)各種高純度材料進(jìn)行開發(fā)及生產(chǎn)。我們確立了Mg的高純度化技術(shù)，并使用其對(duì)濺射靶材進(jìn)行生產(chǎn)及供應(yīng)。 |
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