世界*高水平的
高精度・高速・高分辨率
高穩定倍光路型激光干涉傳感器
●應用東京精密的要素技術之一的光纖激光干涉測長系統,開發出分辨
率0.31nm的高穩定倍光路型激光干涉傳感器并搭載在產品上。
●動態量程與分辨率之比高達42,000,000 :1,一次跟蹤即可評價大范
圍的輪廓形狀及其隱藏在形狀下面的微細表面形狀,是一款劃時代的
產品。
只需一次測量即可進行粗糙度和輪廓的分析
●可在保持高精度的同時提高測量效率。
大量程
●橫向200mm,縱向13mm,測量范圍大。
●可±45°自動控制驅動部傾斜
(SURFCOM CREST-T型號)
在驅動部搭載線性馬達 已取得專利
●憑借線性馬達驅動,實現了高精度·高速移動。
●電子低振動化穩定,可以實現高倍率測定。
只需一次測量即可進行粗糙度和輪廓的分析
●可在保持高精度的同時提高測量效率。
大量程
●橫向200mm,縱向13mm,測量范圍大。
●可±45°自動控制驅動部傾斜
(SURFCOM CREST-T型號) |