高低溫真空模組,低溫模組,高溫模組,高溫電缸,低溫電缸可在10-7PA的真空環境下運行,耐溫達200℃,真空模組的設計首要考慮機構和材料。此系列產品大部分組件采用不銹鋼加工或熱膨脹系數相當的并且出氣率低的材料。此系列產品主要應用于真空室。高溫室,高潔凈度環境。
特點:
一體化設計,可靠易用
標準化設計制造60,90,,120三種規格,可定制其他規格
工作環境溫度-196℃至200℃
適用真空度10-7PA
模塊化設計
免維護設計
承載,導向,驅動一體
高承載,高精度,高速度
簡單易用,可靠性高,以保證高效率 
伺服電機與電動缸的傳動絲桿直接相連接,使伺服電機的編碼器直接反饋電動缸移動活塞桿的位移量,減少了中間環節的慣量和間隙,提高了控制性和控制精度。伺服電機與電動缸整體相連,安裝容易、設定簡單、使用方便。
可靠、優異、緊湊的執行器助您優化機器設計并節約能源
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