二手舊等離子刻蝕機進口清關報檢報關行
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等離子刻蝕機,又叫等離子蝕刻機、等離子平面刻蝕機、等離子體刻蝕機、等離子表面處理儀、等離子清洗系統等。等離子刻蝕,是干法刻蝕中1常見的一種形式,其原理是暴露在電子區域的氣體形成等離子體,由此產生的電離氣體和釋放高能電子組成的氣體,從而形成了等離子或離子,電離氣體原子通過電場加速時,會釋放足夠的力量與表面驅逐力緊緊粘合材料或蝕刻表面。某種程度來講,等離子清洗實質上是等離子體刻蝕的一種較輕微的情況。進行干式蝕刻工藝的設備包括反應室、電源、真空部分。工件送入被真空泵抽空的反應室。氣體被導入并與等離子體進行交換。等離子體在工件表面發生反應,反應的揮發性副產物被真空泵抽走。等離子體刻蝕工藝實際上便是一種反應性等離子工藝。近期的發展是在反應室的內部安裝成擱架形式,這種設計的是富有彈性的,用戶可以移去架子來配置合適的等離子體的蝕刻方法:反應性等離子體(RIE),順流等離子體(downstream),直接等離子體(direction plasma)。
主要企業(品牌):
國際:英國牛津儀器公司、美國Torr公司、美國Gatan公司、英國Quorum公司、美國利曼公司、美國Pelco公司。
國內:北京儀器廠、北京七星華創電子有限公司、中國電子科技集團第四十八所、戈德爾等離子科技(香港)控股有限公司、中國科學院微電子研究所、北方微電子、北京東方中科集成科技股份有限公司、北京創世威納科技。
二手舊等離子刻蝕機進口提供的具體材料:
申請資料包括:
1)進口舊半導體產品備案申請書
2)申請人、收貨人、發貨人營業執照(復印件)
3)裝運前預檢驗申請書
4)擬進口舊半導體產品清單(按標準格式填寫,一式兩份,要求以電腦打制。)
5)進口上海半導體設備描述(按網上標準格式填寫)
6)其它材料(8年前制造的舊半導體晶圓產品原則上均需提供產品彩色圖片/照片;制造年限久的半導體晶圓如在發運前已經維修整理,申請人可提供相關記錄與證明;進口的二手大型成套半導體晶圓需提供半導體晶圓配置圖、工藝流程圖等資料。)
7)進口用于銷售、租賃或者維修等用途且國家實施強制性產品認證制度、進口質量許可管理以及有其他規定要求的舊半導體晶圓產品的,備案申請人申請備案時必須提供相應的證明文件(復印件)
8)合同或協議
9)進口舊半導體晶圓產品擬備案工作聯系單(需辦理半導體晶圓證時提供)
進口二手舊等離 子刻蝕機CCIC裝運前預檢驗工作事項:
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