控制產品所接觸大氣的潔凈度及溫濕度，使產品能在一個良好的環境空間中生產、制造。此環境空間的設計施工過程就叫做蘇州凈化工程。經過蘇州凈化工程裝修的房間就叫做凈化車間或者潔凈車間。潔凈車間的溫濕度主要是根據工藝要求來確定，但在滿足工藝要求的條件下。隨著空氣潔凈度要求的提高，出現了工藝對溫濕度的要求也越來越嚴的趨勢。具體工藝對溫度的要求以后還要列舉，但作為總的原則看，由于加工精度越來越精細，所以對溫度波動范圍的要求越來越小。
例如在大規模集成電路生產的光刻曝光工藝中，作為掩膜板材料的玻璃與硅片的熱膨脹系數的差要求越來越小。直徑100 um的硅片，溫度上升1度，就引起了0.24um線性膨脹，所以須有±0.1度的恒溫，同時要求濕度值一般較低，因為人出汗以后，對產品將有污染，特別是怕鈉的半導體車間，這種車間溫度不宜超過25度，濕度過高產生的問題更多。相對濕度超過55%時，冷卻水管壁上會結露，如果發生在裝置或電路中，就會引起各種事故。相對濕度在50%時易生銹。所以，蘇州凈化工程對類似這種空間是非常有必要的。
蘇州凈化工程中各級空氣潔凈度的空氣凈化處理，均應采用初效、中效、高效過濾器三級過濾。100000級空氣凈化處理，可采用亞高效過濾器代高效空氣過濾器�？諝膺^濾器的選用布置和安裝方式，應符合：初效空氣過濾器不應選用浸油式過濾器；中效空氣過濾器宜集中設置在凈化空氣調節系統的正壓段；高效空氣過濾器或亞高效過濾器宜設置在凈化空氣調節系統末端，高效空氣過濾的安裝方式應簡便可靠，宜檢漏和更換；中效、亞、高效過濾器宜按額定風量選用；阻力、效率相近的高效空氣過濾器宜設置在同一凈化車間內。 |
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