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東莞市普諾克真空科技有限公司
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先生 (銷售經理) |
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手 機：13622664458  |
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| 半導體設備專用羅茨真空泵 |
東莞市普諾克真空科技公司擁有一支集研發、生產、銷售、售后為一體的強大隊伍，優質的半導體設備專用羅茨真空泵產品、專業的真空知識、在真空系統建造方面的豐富經驗以及快速的服務，為客戶提供理想、完善的真空解決方案并贏得了高度贊譽，需要了解更多羅茨真空泵信息的朋友請登錄。
羅茨真空泵產品特點：
1.馬達多樣性
每一臺普諾克羅茨真空泵的馬達都可采用風冷或水冷，以保證客戶的正常使用
泵整體采用鋁合金或鑄鐵材料，實現泵散熱快、耐腐蝕性強等優點
2.結構簡單 維護方便
轉子型線通過精心設計產用圓弧轉子方式使泵的設計更加緊湊
抽氣效果更加突出，相比同級別其它廠家抽速有很大提高
維護起來也很方便，維護費用非常低
3.高清潔真空
羅茨泵泵腔內沒有任何能與空氣發生化學反應的介質
確保被抽氣體不受二次污染,實現高清潔真空
4.萬能泵 助力泵
羅茨泵也稱助力泵，可以與螺桿泵、放片泵、水環泵、滑閥泵
分子泵等泵組成泵組，大大提高抽氣速率和真空度
正常情況下可以高10倍以上的真空度！
半導體設備專用羅茨真空泵產品參數：
型號：PNK MR 0600T
額定流量（50Hz）：600 m3/h
抽氣速率：166.7 l/s
極限壓力：≤0.05 Pa
*大允許壓差：≥1.2x104 mbar（≥1200000 Pa）
馬達頻率：50 Hz
馬達額定功率：3 Kw
連接口進氣口：ISO100
連接口排氣口：ISO80
轉數（50HZ）：2900 PRM
重量：198 Kg
推薦前級泵：PNK SP 0100
半導體設備專用羅茨真空泵前級泵選擇：
羅茨真空泵不能單獨使用，必須配上前級泵組成機組，使用前級真空泵是為了降低羅茨真空泵的排出壓力，由于羅茨真空泵的壓縮比是有限的，所以選擇前級真空泵的抽速是重要的，羅茨真空泵的*大壓縮比是隨排出壓力而變化的，在高排出壓力下，*大壓縮比*多大3：1，而高壓縮比是在排出壓力為1到10mbar之間（1 mbar=0.75Torr）可達50:1，甚至更高些。
因此，選擇前級泵的抽速，要根據羅茨真空泵的長期工作壓力范圍考慮。
例如有一系統用羅茨真空泵機組抽氣，要求在1 mbar入口壓力時有600升/秒的抽速，并長期工作，問應選擇多大抽速的前級泵。
先假定用30升/秒的前級泵時，壓縮比K=600： 30=20得出K=20時*大排出壓力為30 mbar。
由此得出，當選用30升/秒前級泵時，在入口壓力低于1.5 mbar以下工作是可行的，但高于1.5 mbar入口壓力工作時就選用大一些前級泵了。該例中，工作真空度1 mbar低于1.5 mbar，所以30升/秒的前級泵可以滿足上述真空系統的抽氣要求。
另外應當考慮的是，對預抽時間的要求問題，如果正常工作時間遠比預抽時間長，可選 |
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