1： LF-F/LV-F系列質量流量控制器利用1種液體進行了流量校正 (請預先指定所使用 的液體。)
・不能檢測含有固體物的液體。
・如果混合液中混合比會發生變化時，請預先進行咨詢協商。
・LV-F系列質量流量控制器如果在對象液體中含有粒子等時，請在一次端(入口端) 安裝0.2μm(Abs.)以下的過濾器。
*2： LF-F類型質量流量控制器根據流量量程，可以適用到 *大值， 0.1Pa•s。有關高粘度的液體請預先進行咨詢協商。
*3： 以SEMI E56-1296 為準。
*4： 進行測量・控制的液體溫度如果低于環境溫度時，使用時請把溫差控制在10℃以 內；如果高于液體溫度時，使用時請把溫差控制在3℃以內。
*5：這是在粘度0.001Pa・s中的F.S.流量值。
名稱
質量流量計
型號
LF-F20M-A
LF-F30M-A
LF-F40M-A
LF-F50M-A
LF-F60M-A
全標度流量(g/min)
0.02/0.05/0.1
0.2/0.5
1/2/5
10/20
50/100
檢測控制范圍
5〜100% F.S.
對象液體種類 *1
可腐蝕不銹鋼的HCl.HF等液體除外。
液體粘度 *2
*大值. 0.1 Pa·s (100cp)
精度 *3
±1% F.S.
直線性 *3
±0.5% F.S.
重復性 *3
±0.5% F.S.
響應精度
3秒以內 (T98)
2秒以內 (T98)
使用環境溫度 *4
5〜50℃ (15 〜 45℃精度的確保)
溫度影響 Span
±0.1%F.S./℃ *大值±1%
工作差壓值值 *5
*大值. 5MPa (視為流量計) / 50〜300kPa (with piezo 控制閥)
耐壓
10MPa (視為流量計)
壓力損失
*大值. 500Pa
流量設定信號
模擬：0.25〜5 VDC(輸入阻抗1MΩ以上)數字式：RS485(F-Net通信協議)
流量輸出信號
模擬：0〜5 VDC(*小負荷電阻2kΩ) 數字式：RS485(F-Net通信協議)
驅動電源
+15 V ±5%, 200 mA -15 V ±5%, 200 mA
外部泄漏規格
5×10-12Pa·m3/s (He)
接液部材質
SUS316L, Ni
標準接頭
1/16” ， 1/8” SWL類型， 1/8” VCR 類型
1/8” SWL類型， 1/8” VCR 類型
1/4” SWL類型 1/4” VCR 類型
名稱
質量流量控制器
型號
LV-F20 (PO/MO)
LV-F30 (PO/MO)
LV-F40 (PO/MO)
LV-F50 (PO/MO)
LV-F60 (PO/MO)
全標度流量(g/min)
0.02/0.05/0.1
0.2/0.5
1/2/5
10/20
50/100
檢測控制范圍
5〜100% F.S.
對象液體種類 *1
可腐蝕不銹鋼的HCl.HF等液體除外。
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