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青島晨立電子有限公司
| 聯(lián)系人：姜先生
先生 (銷售經(jīng)理) |
| 電 話：0532-88533525 |
手 機：13954285618  |
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| 青島擴散爐生產(chǎn)廠家 高溫氧化爐 |
臥式擴散爐--擴散爐
擴散爐--高溫擴散爐，臥式擴散爐，晨立簡單介紹：
擴散爐--高溫擴散爐，臥式擴散爐，晨立
設(shè)備用途：用于大規(guī)模集成電路、電力電子、光 電器件、光導(dǎo)纖維等行業(yè)的氧化、擴散、燒結(jié)、合金等工藝。
設(shè)備特點：單元組合方式。根據(jù)工藝的不同，可以在主機的基礎(chǔ)上配氣源柜、超凈工作臺、懸臂推拉舟等。
主要技術(shù)指標：
★ 爐管數(shù)：1～4管
★ 配工藝管口徑：Φ90～360 mm (3～12英寸)
★ 恒溫區(qū)長度： 760～1000 mm±1.0℃ (300～800℃) 760～1000 mm±0.5℃(800～1280℃)
★ 單點穩(wěn)定性： ±1.0℃/24h (300～800℃) ±0.5℃/24h (800～1280℃)
★ 氣源路數(shù)： ≤7路，可配恒溫源瓶、氫氧合成點火器
★ 氣體控制： 浮子/質(zhì)量流量計
★ 懸臂舟參數(shù)： 速度： 20～1000 mm/min *大行程：2000 mm 定位精度：±1 mm *大載荷：17 Kg
★ 超凈工作臺： 凈化等級：100級（萬級廠房）
噪音： ≤62dB（A）
振動： ≤3μm
晨立*新擴散爐設(shè)備新鮮出爐,技術(shù)和質(zhì)量已達國際水平,受到半導(dǎo)體設(shè)備制造企業(yè)和半導(dǎo)體行業(yè)高度關(guān)注.可完全替代國外同規(guī)格高端產(chǎn)品滿足不同工藝的要求 |
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