七星華創流量計
表1. D07-7B 型MFC性能指標
編號 項     目 D07-7B  型
1 流量規格 ( 0~5,10,20,30,50,100,200,300,500)  SCCM
( 0~1,2,3,5,10)                    SLM
2 準確度 ±1.5  % F.S
3 線性     ±1  % F.S
4 重復精度  ±0.2  %F.S
5 響應時間 電特性:      10   sec
  氣特性:  ≤ 4  sec
6 工作壓差范圍 (0.1  ~ 0.5)  MPa
7 耐壓 3  MPa
8 工作環境溫度 5 ℃ ~ 45 ℃
9 輸入輸出信號 0  V ~ +5.00 V
(輸入阻抗大于100K, 輸出電流不大于3mA)
10 電源 +15  V   50 mA
-15V   200 mA
11 外形尺寸 見圖4
12 重量 1.1  kg
 
注意:                                                                       
質量流量計和質量流量控制器出廠通常用氮氣（N2）標定。
質量流量的單位規定 |
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