|
銀威集團（中國）有限公司
| 聯系人：魏小姐
女士 (營銷) |
| 電 話：0755-83438118 |
| 手 機： |
 |
|
 |
|
| AE直流電源 |
AE 的直流電源產品主要通過物理氣相沉積市場上主要使用的物理氣象沉積工藝——合金濺射以及與有反應氣體參與的反應濺射，AE直流電源包括：
一、直流脈沖產品套件
AE 的脈沖產品系列具有各種功能，能夠滿足您所有的困難和各式各樣的工藝要求。這個靈活的直流脈沖附件系列提供 10-200kW 的功率以及 2-100kHz 的固定和可變頻率。這個系列的每一項產品在設計上均具有相當的特點，能夠針對反應和直流濺射提供經證實的優勢。
二、ASCENT AP（先進脈沖）電源
2013年，AE 通過采用雙極性脈沖直流技術為雙極磁控濺射帶來了新的技術革新，提供了前所未有的等離子體控制技術。Ascent AP電源在緊湊的單/雙極磁控濺射方案中引入了額外的控制參數，使得功率輸出更加優化。Ascent AP具有專利的脈沖技術，可以主動抑制電弧，其廣泛的工作范圍使得該電源可以應用于許多材料，拓展了制程的靈活性以及材料的不斷創新。
三、擁有Arc Management System 技術的 Ascent 直流電源
強大的 Ascent 直流電源專門用于易產生電弧的工藝制程，它可以提供穩定功率，以獲得可重復的高質量薄膜。嚴格的質量控制過程確保可達到*高可靠性。Effective Arc Management System 功能可以熄滅電弧，防止不必要的薄膜損壞或制程中斷。同時 Set Point Compensation 技術可以平衡設定點與濺射率，即使在電弧非常頻繁的情況下也能做到這一點。Ascent 電源配備了多種用戶界面和虛擬前面板軟件，易于設置和操作。您可以選擇主/從裝置，或利用 Arc-Sync 技術以多個相鄰的陰極調節電源。不管您的配置如何，均可使用 Ascent 電源獲得穩定、可重復的電源。
四、Pinnacle 系列
業界公認的 Pinnacle 直流電源平臺具有*佳的工藝一致性和控制功能，從而大大減少了工藝變化，提高了產量。這個緊湊、功能強大的套件提供了業界*低的存儲能量、*快的弧反應以及*廣的全功率運行阻抗范圍。
五、Pinnacle Plus+
Advanced Energy (AE) 的 Pinnacle Plus+ 電源為單體直流脈沖電源，為您的反應工藝提供脈沖直流電解決方案所有優點，包括使用簡單、節約成本以及具有*佳的靈活性。結合標準直流電技術和經過工藝證明的脈沖直流電技術，Pinnacle Plus+ 電源與復雜而昂貴的交流電解決方案相比，沉積率更高，重復性能更好，薄膜質量更為優異。 |
 |
| |
|
|
 |
|
|
免責聲明：以上所展示的信息由會員自行提供，內容的真實性、準確性和合法性由發布會員負責，www.qy6.com對此不承擔任何責任。如有侵犯您的權益，請來信通知刪除。