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威鵬晟（山東）機械有限公司

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產品目錄

VPS干式螺桿真空泵

詳細說明

*佳的極限壓力完全無油無水

干式螺桿真空泵使用了獨特的螺桿轉子型線，排氣溫度低，工藝穩定，適用于各種領域的真空工藝，也維持了*佳的真空效率和耐用性。

介質不經過油和水，用可變壓縮方式操作，水蒸氣和液態混合工藝，非常適合干燥、溶劑回收、化工、制藥、塑料等各種真空工藝。

VPS干式螺桿真空泵特征

1) 工作腔內無水無油，通過轉子轉動產生清潔真空。

2) 單級設計可使固體廢棄物更容易排出并大幅減少留在泵內的殘余物。

3) 通過特殊涂層處理，可用于抽取有毒、有腐蝕性及可凝性氣體。

4) 工作方式不使用油或水，大幅降低操作成本。

5) 密封方式為機械或雙唇密封。

6) 簡便的設計易于設備維護。

7) 螺桿與螺桿之間及泵體與螺桿之間無接觸，使用壽命長。

8) 氣體通過泵體可迅速排出。

9) 螺桿轉子具有較高的容積效率。

10) 較低的轉速可降低振動及噪音。

干式螺桿泵的應用范圍：

在半導體合成及液晶生產上的應用，主要有半導體等離子增強氣相沉淀（PECVD）和反映離子刻蝕（RIE）工藝，液晶生產蝕刻制程和生產TFT熒幕電漿（PLASMA）的CVD制程中。此工藝要求返流為0，以保護工件免受污染。

在石油化工中，主要是抽取可凝性氣體，或有毒氣體，或腐蝕性氣體，或含有微塵的氣體。

制藥行業，用于藥物的真空干燥，藥物中間體回收，回收氣體消毒劑，為人造器官提供清潔無菌條件等。

化工中用于真空蒸餾及溶劑萃取回收，例如萃取回收丙酮，多元醇等工藝

工業排氣；集中式真空處理系統

擠出機的混合工藝及板材的排氣工藝

混合樹脂脫腥工藝;在脂肪酸生產中用于消除水污染，及噴射器中的阻塞物。

涉及無憂污水真空處理的所有應用

食品行業用于香料，香精濃度，食品包裝等