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在有機廢氣的處理過程當中有機污染物的分解以及各種無機小分子的裂解是非常重要的意義，而光氧催化設備可以有效地分解有機物，尤其是對于有機溶劑，像食品廠、化工廠等這些場所所產生的有機溶劑，是利用光氧催化設備可以得到完美凈化的。
光氧催化設備利用紫外線光束進行凈化殺菌效果，但是對于顆粒性物質的清楚效果比較差，紫外線輻射易對人的眼角膜、皮膚等造成傷害，不能人機共存，在歐美國家，紫外線凈化是已經被市場淘汰的技術。臭氧技術是利用臭氧的活性，能夠有效殺滅細菌、微生物、霉素等，但不能清除PM2.5等顆粒物，另外，臭氧超標是隱形殺手，臭氧有腐蝕性，還可能造成神經中毒、導致哮喘、影響肺功能等。
光催化技術能夠除塵、殺菌，去除甲醛等有機污染，不能消除異味，有腐蝕性，需要有紫外線的照射才能發生作用，產品壽命短，紫外光對人體有害，不宜人機共存。 在環境污染物的治理中，曾涌現出多種高新技術，如：超聲波、超臨界流體、等離子體、中空纖維分離技術、高梯度磁分離技術、反滲透技術、光催化氧化法、催化濕式氧化技術等，但大多數在研究階段，少數達到了工業水平。
在眾多環境治理新技術中，等離子體凈化技術的應用相對成熟，可以作為一種高效率、低能耗、使用范圍廣、處理量大、操作簡單的環保新技術來處理有毒及難降解物質，等離子體空氣凈化技術便是由此而來。
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