美國(guó)API激光干涉儀XD Laser儀器體積小，重量輕，可以直接安裝到機(jī)床導(dǎo)軌上。其中6D激光干涉儀主要由穩(wěn)頻激光器、干涉儀和6維傳感器組成，從激光器發(fā)出的激光光束經(jīng)過(guò)干涉后，被6D傳感器內(nèi)的分光鏡分成三束，一束光經(jīng)錐角反射棱鏡反向后返回干涉儀與參考光束相干產(chǎn)生干涉條紋，經(jīng)光學(xué)相位探測(cè)器識(shí)別后進(jìn)行電子記數(shù)，記錄精確長(zhǎng)度位移。第二束光用作直線度測(cè)量的參考光束，傳感器與參考光束之間的相對(duì)位移由裝在傳感器內(nèi)的橫向疚光電二級(jí)管測(cè)得。第三束光用作裝在6D傳感器內(nèi)的小型光電測(cè)角儀的參考光源，用來(lái)測(cè)量角度誤差（俯仰角和偏擺角）。為了保證激光光束的穩(wěn)定性，測(cè)量?jī)x在結(jié)構(gòu)的設(shè)計(jì)以及激光器的選擇方面都做了仔細(xì)周密的考慮，以使測(cè)量?jī)x的橫向和角度漂移量都降低到最小，從而保證測(cè)量?jī)x的長(zhǎng)期穩(wěn)定性。美國(guó)API激光干涉儀XD Laser儀器體積小，重量輕，可以直接安裝到機(jī)床導(dǎo)軌上。其中6D激光干涉儀主要由穩(wěn)頻激光器、干涉儀和6維傳感器組成，從激光器發(fā)出的激光光束經(jīng)過(guò)干涉后，被6D傳感器內(nèi)的分光鏡分成三束，一束光經(jīng)錐角反射棱鏡反向后返回干涉儀與參考光束相干產(chǎn)生干涉條紋，經(jīng)光學(xué)相位探測(cè)器識(shí)別后進(jìn)行電子記數(shù)，記錄長(zhǎng)度位移。第二束光用作直線度測(cè)量的參考光束，傳感器與參考光束之間的相對(duì)位移由裝在傳感器內(nèi)的橫向疚光電二級(jí)管測(cè)得。第三束光用作裝在6D傳感器內(nèi)的小型光電測(cè)角儀的參考光源，用來(lái)測(cè)量角度誤差（俯仰角和偏擺角）。為了保證激光光束的穩(wěn)定性，測(cè)量?jī)x在結(jié)構(gòu)的設(shè)計(jì)以及激光器的選擇方面都做了仔細(xì)周密的考慮，以使測(cè)量?jī)x的橫向和角度漂移量都降低，從而保證測(cè)量?jī)x的長(zhǎng)期穩(wěn)定性。測(cè)量?jī)x配有自動(dòng)氣壓、環(huán)境溫度補(bǔ)償器，自動(dòng)校正環(huán)境變化對(duì)激光波長(zhǎng)及長(zhǎng)度測(cè)量的影響，測(cè)量?jī)x還配有專門(mén)設(shè)計(jì)的多重?cái)?shù)字濾波器，使由空氣波動(dòng)及溫度梯度引起的測(cè)量誤差降到最小。
美國(guó)API激光干涉儀XD Laser的技術(shù)參數(shù)：
1．1D激光主要可以測(cè)量定位誤差
2．3D激光可以測(cè)量定位誤差、直線度誤差（雙向）
3．5D/6D激光可以測(cè)量定位誤差、直線度誤差（雙向）、偏擺角、俯仰角和滾動(dòng)角
4．5D/6D標(biāo)準(zhǔn)型技術(shù)參數(shù)：
1) 線性：0.5ppm .
2) 測(cè)量范圍：40米（1D可選80米）
3) 線性分辨力：0.001um.
4) 偏擺角和俯仰角的精度：（1.0+0.1/m）角秒或1%顯示較大值
5) 范圍：800角秒
6) 滾動(dòng)角精度：1.0角秒
7) 直線度精度：（1.0+0.2/m）um或1%顯示較大值
8) 直線度范圍：500um
9) 垂直度精度：1角秒
10) 溫度精度：0.2攝氏度
11) 濕度精度：5%
12) 壓力精度：1mmHg
美國(guó)API激光干涉儀XD Laser的特點(diǎn)：
1．同時(shí)測(cè)量線性定位誤差、直線度誤差（雙軸）、偏擺角、俯仰角和滾動(dòng)角
2．設(shè)計(jì)用于安裝在機(jī)床主軸上的5D/6D傳感器
3．可選的無(wú)線遙控傳感器最長(zhǎng)控制可到25米
4．可測(cè)量速度、加速度、振動(dòng)等參數(shù)，并評(píng)估機(jī)床動(dòng)態(tài)特性。
5．全套系統(tǒng)重量?jī)H15公斤，設(shè)計(jì)緊湊、體積小，測(cè)量機(jī)床時(shí)不需三角架
6．集成干涉鏡與激光器于一體
功能型號(hào) XD-1D XD-3D XD-5D XD-6D
標(biāo)準(zhǔn)型 精密性
線性范圍 （m） 45 40 45 45 40
線性精度 （ppm） 0.5 0.2 0.5 0.5 0.2
直線度 （um） N/A N/A 2.0+0.4/m 1.0+0.2/M 0.5+0.1/M
偏擺角 （角秒） N/A N/A 1.0+0.1/m 0.05+0.05/M 0.5+0.05/M
滾動(dòng)角 （角秒） N/A N/A N/A N/A 0.5
垂直度 （角秒） N/A N/A 1.0+0.4/m 1.0+0.2/M 1.0+0.2/M
材料溫度 （℃） 0.1 0.1 0.1 0.1 0.1
空氣溫度 （℃） 0.2 0.1 0.2 0.1 0.1
大氣壓力 （mm Hg） 1 0.3 1 0.3 0.3 |
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