供應深圳美信掃描探針顯微鏡/原子力顯微鏡(AFM)檢測
掃描探針顯微鏡,俗稱原子力顯微鏡(AFM),提供原子或接近原子分辨率的表面圖形,是測定埃尺度表面粗糙樣本的理想技術。除顯示表面圖像, AFM還可以提供特征尺寸定量測量, 例如步進高度測量;其他樣本特性,如為確定載體和摻雜劑的分布和測量電容。
AFM應用:
 三維表面結構圖像,包含表面粗糙度、微粒尺寸、步進高度、傾斜度
 加工前后晶圓上(二氧化硅、砷化鎵、鍺化硅等)評估
 測定接觸鏡片、導管、支架和其他生物醫藥表面的加工效果(如等離子處理)
 測定表面粗糙度對粘合和其他工藝的影響
 測定有圖案晶圓的溝壁形狀/潔凈度
 測定形態/結構是否為表面幾何形狀的來源
AFM應用優點:
 量化表面粗糙程度
 高空間辨析率
 導體和絕緣體樣品的成像
AFM應用局限性:
 掃描范圍限制:橫坐標100微米,Z軸5微米
 樣品的潛在問題是太粗糙、樣品形狀古怪
 針頭可能引起的誤差 |
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