葉轉換紅外線光譜分析儀(FTIR)檢測
FTIR提供關于化學鍵和分子結構的詳細信息，使它有益于有機材料和某些無機材料的分析。化學鍵以特有的頻率振動，當接觸到紅外線輻射時，它們以與振動模式相匹配的頻率吸收紅外線。作為頻率的函數測量輻射吸收得到用于識別官能團和化合物的光譜。
FTIR應用：
 污染物分析中識別有機化合物的分子結構
 識別有機顆粒、粉末、薄膜及液體（材料識別）
 量化硅中氧和氫以及氮化硅晶圓中的氫 （Si-H vs. N-H）
 污染物分析（析取、除過氣的產品，殘余物）
FRIR分析優點：
 能識別有機官能團，通常是具體的有機化合物
 具有識別化合物的豐富光譜庫
 測試環境非真空，可測試易揮發物質
 典型的非破壞性
 最小分析面積~15 微米
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FRIR分析局限性：
 有限的表面靈敏度（一般取樣量~0.8 μm ）
 最小分析面積~15 微米
 有限的無機物信息
 一般非定量（需要標準） |
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