真空光學測量爐
事光測實驗力學方法、實驗技術和工程應用研究工作，近二十年來主要從事以激
光技術和近代光學為主要手段的現代光測力學實驗研 究工作：
1, 光彈性法:研究和發展全息光彈性法、激光散光光彈性法、光彈性貼片法;
2, 云紋干涉法:在實驗理論、方法、實驗技術以及細觀力學、材料科學、殘余應力
、微電子封裝以及高溫和現場測量中的應用取得全面 系統的進展：
3, 采用獨創的旋轉擴展點光源全息干涉系統制作頻率從600線/mm至10000線/mm的高
靈敏度全息云紋光柵，使云紋干涉法測量靈敏度提 高到新水平;
4, 納米云紋法:用電子顯微鏡、原子力顯微鏡測量晶體材料的納觀力學行為.
5, 三維多功能云紋干涉儀研制
在研項目科學內容
為適應材料科學、微力電系統、微電子封裝等科技發展的需要,當前重點從事從 微
米、亞微米到納米尺度范圍的變形場和力學行為測量 方法、技術和設備的研究,實現實
驗手段在不同空間尺度的分辨率和靈敏度的貫通,并實現從宏觀到納觀多層次力學行為和
力學參量的測 量.
※應用領域：
CNT生產的真空光學測量爐廣泛應用于材 料科學、微電子、光電子等領域進行光學觀察和測量的重要設備。
※產品描述：
CNT公司生產的真空光學測量爐主要由全真空專用不銹鋼腔體，分子泵高真空系統，，獨立氣體調節系統，冷卻循環水輔助設備等組成。整機結構緊湊、操作方便、抽真空速度快。此設備控制系統采用邏輯按鈕手動控制與工控機自控控制可選。
※技術指標：
參 數 名 稱 單 位 配置
加熱系統 電阻或RF感應加熱，帶加溫和勻氣系統
工 作 溫 度 ℃ 100~1000℃
觀察區尺寸 (φ×H)mm 1英寸、二英寸、三英寸、四英寸
工作載荷 T 1-4T
控 溫 精 度 ℃ ±1
極限真空 pa 6.67×10-3
密封系統 磁流體密封
水冷、氣路系統 冷卻水循環機、無噪聲氣泵
報警及保護 對缺水、過流過壓、斷路等異常情況進行報警及相應保護措施
真空系統
（選 配） 真空系列 單級機械泵、擴散泵機組、分子泵
工作腔體 不銹鋼
氣氛系統 浮子流量計、進口、國產質量流量計
記錄裝置 進口、國產無紙記錄儀
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