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供應GIK小型等離子清洗機臺式蝕刻機系統進口小型納米級緊湊型

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公　司：通羅馬科技(北京)有限公司

發布時間：2014年09月15日

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韓磊先生 (經理)

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電　　話： 010-57130073 傳　　真： 010-58144085 手　　機： 13910046648 地　　址：中國北京朝陽區朝陽區東三環北路呼家樓紫荊豪庭B座22 郵　　編： 100020
公司主頁：	http://tungroma.qy6.com.cn(加入收藏)

詳細說明

GPC-102 A等離子清洗機技術特征：
 緊湊型臺式等離子清洗設備，無射頻輻射危害，通過CE/EMC、CE/LVD、ROHS及FCC VOC認證。
 射頻（RF）功率無極調節，可根據應用需要自由設置。
 等離子清洗機整體適配與惰性氣體如大氣、氬氣、氮氣，活性氣體氧氣、氦氣、氫氣或混合氣體等工藝氣體使用。
 適用于超凈間，無需配備其它附件即可使用。
 全套工藝氣體管路采用特氟龍（teflon）材質及美國Swagelok高質316不銹鋼閥門。
高配機型GPC-102 （替代 Harrick PDC-32G-2及PDC-FMG-2 PlasmaFlo、EQ-PDC-32G等離子清洗機）等離子清洗機規格：
等離子清洗機真空反應艙尺寸：內徑4.0英寸（102毫米），7.9英寸（200毫米）深
等離子清洗機真空反應艙材質：純石英（99.99%二氧化硅）
等離子清洗機輸入功率：150W（*大）
等離子清洗機工作頻率：13.56MHz
等離子清洗機射頻功率：0W~30W 功率旋鈕連續調節
等離子清洗機重量：16公斤（約）
等離子清洗機尺寸：12.3英寸（312毫米）高x 30英寸（762毫米）寬x 12.4英寸（315毫米）深
等離子清洗機真空計：熱偶式、數碼顯示、實時監控真空反應艙內壓力。
等離子清洗機流量氣體混合計：配備氣體流量控制系統，可以精密控制工藝氣體喂入及混合。
等離子清洗機配套托盤：純石英材質規格

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該公司其他產品信息

·供應GIK小型等離子清洗機臺式蝕刻機系統
·供應進口PDMS芯片等離子鍵合機微流控芯片
·供應光學張力計∣視頻接觸角測量儀∣水滴角

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聯系人：韓磊電話：010-57130073

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