全氟醚橡膠（FFKM）O型圈
Perfluoroelastomer) 優點：
優點：
適用于特別用途，如要求能抗含氧的化學物、含芳香氫的溶劑及含氯的溶劑的侵蝕。
*佳耐熱特性
優異的抗化學特性
低Outgassing 特性
優異之抗Plasma特性
適用范圍:
全氟系列產品廣泛地運用于半導體產業及信息相關產業所運用, 運用范圍包含薄膜制程中之PVC, CVD及蝕刻制程及各種高真空密封制程。
全氟醚橡膠（FFKM）O型圈
全氟醚橡膠是由TFE（主鏈）、PMVE（支鏈）及架橋部所構成，它不僅具有像PTFE一樣優異耐高溫，耐化學腐蝕的性能（可耐1600余種化學品的腐蝕），還兼備了橡膠的彈性，其在300℃時的壓縮變形率也僅在50%以下。普通全氟橡膠工作溫度范圍為-25℃~+240℃間，Kalrez7075耐高溫可達327℃，即使當暴露在316℃的恒溫中或像343℃這樣的間歇高溫環境中，Kalrez制作也不會發生導致密封失效的硬化和脆化，Kalrez在與侵蝕性流體的浸漬直接接觸中依然能保持其彈力和回彈性能。事實上，Kalrez的熱穩定性往往超過了那些流體本身。全氟橡膠還具有優異的氣密性（耐真空度可達1.33X10-7-1.33X10-8pa)和高潔凈性以及耐離子體性,這些特點在半導體行業的應用也非常廣泛.
硅氟橡膠
FLS
(Fluorinated Silicone Rubber) 硅氟橡膠為硅橡膠經氟化處理，其一般性能兼具有氟橡膠及硅橡膠的優點；其耐油、耐溶劑、耐燃料油及耐高低溫性均佳，一般使用溫度為 -50~200 ℃。
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