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RTP快速退火爐

RTP快速退火爐//RTP快速退火爐

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公　司：鄭州成越科學儀器有限公司

發布時間：2014年07月09日

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汪經理先生 (經理)

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電　　話： 0371-55199322 傳　　真： 0371-86036875 手　　機： 13837189935 地　　址：中國河南鄭州市高新區翠竹街6號9幢郵　　編： 450000
公司主頁：	http://cy2014bjh.qy6.com.cn(加入收藏)

詳細說明

RTP快速退火爐的主要技術參數如下
加熱元件：鹵素電極；
電極數量：12支；
整機功率：7.2KW；
升溫速率：200℃/Second；
降溫速率：30秒(1000℃ → 400℃)；
*高溫度：1100℃；
溫度精度：+/- 1℃；
*大樣品尺寸：4英寸；
氣氛環境：真空、氣體（氮氣、氬氣、氧氣）、空氣；
真空系統：可根據實際需要選配無油機型泵或者分子泵
應用領域：
-快速熱退火
- 快速熱氧化
- 快速熱氮化
- 硅化
- 擴散
- 化合物半導體退火
- 離子注入后退火
- 電極合金化
- 晶向化和堅化
- 合金熔點分析;
- 薄膜沉積; 等等…

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