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RTP快速退火爐 RTP快速退火爐//RTP快速退火爐

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公 司: 鄭州成越科學(xué)儀器有限公司 
發(fā)布時間:2014年07月09日
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汪經(jīng)理 先生 (經(jīng)理)
聯(lián)系時,請說是在企業(yè)錄看到的,謝謝!
電  話: 0371-55199322
傳  真: 0371-86036875
手  機(jī): 13837189935
地  址: 中國河南鄭州市高新區(qū)翠竹街6號9幢
郵  編: 450000
公司主頁: http://cy2014bjh.qy6.com.cn(加入收藏)
公 司:鄭州成越科學(xué)儀器有限公司

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詳細(xì)說明

    RTP快速退火爐的主要技術(shù)參數(shù)如下
加熱元件:鹵素電極;
電極數(shù)量:12支;
整機(jī)功率:7.2KW;
升溫速率:200℃/Second;
降溫速率:30秒(1000℃ → 400℃);
*高溫度:1100℃;
溫度精度:+/- 1℃;
*大樣品尺寸:4英寸;
氣氛環(huán)境:真空、氣體(氮?dú)狻鍤狻⒀鯕猓⒖諝猓?
真空系統(tǒng):可根據(jù)實(shí)際需要選配無油機(jī)型泵或者分子泵
應(yīng)用領(lǐng)域:
-快速熱退火
- 快速熱氧化
- 快速熱氮化
- 硅化
- 擴(kuò)散
- 化合物半導(dǎo)體退火
- 離子注入后退火
- 電極合金化
- 晶向化和堅(jiān)化
- 合金熔點(diǎn)分析;
- 薄膜沉積; 等等…


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