一、儀器用途
TBM-800 半導體檢測儀是檢測雙極型晶體管的基區(qū)寬度，半導體晶片的直徑、平整度、光潔度、表面污染、傷痕等，刻蝕圖形的線條長、寬、直徑間距、套刻精度、分辨率以及陡直、平滑必不可少的儀器。配備大視野目鏡與偏光觀察裝置，透反射照明采用“柯勒”照明系統(tǒng)，視場清晰。可用于半導體硅晶片、LCD基板、電路板、固體粉未及其它各種透明或不透明工業(yè)試樣的檢驗，是生物學、金屬學、礦物學、精密工程學、電子工程學等研究的理想儀器,廣泛應用在工廠、實驗室和教學及科研等領(lǐng)域。
二、產(chǎn)品特點
配置大視野目鏡和長距平場消色差物鏡(無蓋玻片)，視場大而清晰。配置大移動范圍的載物臺，能快速和慢速移動。粗微動同軸調(diào)焦機構(gòu)，粗動松緊可調(diào)，帶鎖緊和限位裝置，微動格值:2μm。6V 20W鹵素燈,亮度可調(diào)。三目鏡筒,可自由切換正常觀察與偏光觀察，可進行100%透光攝影。不僅可以在目鏡上作顯微觀察，還能在計算機顯示屏幕上觀察實時動態(tài)圖像，并能將所需要的圖片進行編輯、保存和打印。
三、技術(shù)參數(shù)
1.目鏡
類型 放大倍數(shù) 視場(mm)
大視野目鏡 10X φ18
2.物鏡
類別 放大倍數(shù) 孔徑數(shù)值 工作距離(mm)
長距平場消色差物鏡 5X 0.12 9.7
10X 0.25 9.3
20X 0.40 7.2
40X 0.60 3.0
80x 0.80 1.2
3.光學放大倍數(shù)：50X 100X 200X 400X 800x
4.三目鏡,傾斜30?,(內(nèi)置檢偏振片,可進行切換)
5.五孔轉(zhuǎn)換器 (外向式滾珠內(nèi)定位)
6.載物臺:三層機械移動式，尺寸: 250mmX230mm,移動范圍: 154mmX154mm
7.粗微動同軸調(diào)焦, 微動格值:2μm,帶鎖緊和限位裝置
8.照明系統(tǒng)：6V 20W鹵素燈,亮度可調(diào)；帶視場光欄、孔徑光欄,起偏振片,,
9.濾色片組：(黃,藍,綠,磨砂)
10.特有防霉系統(tǒng)
四、系統(tǒng)組成
(TBM-800):1.顯微鏡 2.適配鏡 3.攝像器(CCD) 4.A/D(圖像采集)
五、總放大參考倍數(shù)
TBM-800型:50—3500倍
六、選購件
1.目鏡:16X 10X分劃 2.物鏡:50X 60X 100X 3.二維測量軟件 |
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