一、儀器用途
TBM-600 半導體檢測儀是檢測雙極型晶體管的基區(qū)寬度，半導體晶片的直徑、平整度、光潔度、表面污染、傷痕等，刻蝕圖形的線條長、寬、直徑間距、套刻精度、分辨率以及陡直、平滑必不可少的儀器。配備大視野目鏡與偏光觀察裝置，透反射照明采用“柯勒”照明系統(tǒng)，視場清晰。可用于半導體硅晶片、LCD基板、電路板、固體粉未及其它各種透明或不透明工業(yè)試樣的檢驗，是生物學、金屬學、礦物學、精密工程學、電子工程學等研究的理想儀器,廣泛應用在工廠、實驗室和教學及科研等領域。
二、產(chǎn)品特點
采用無限遠光學系統(tǒng)及模塊化功能設計。長工作距離明，視場大而清晰。廣角平場目鏡：視場直徑Ф22mm。粗微動同軸調(diào)焦機構(gòu)，粗動松緊可調(diào)，帶限位鎖緊裝置，微動格值:2μm。內(nèi)置式可切換偏光觀察裝置，起偏器可360°旋轉(zhuǎn)。上光源采用翻蓋式12V50W鹵素燈箱，更換燈炮安全便捷，下光源采用12V/30W鹵素燈，加裝散熱片。三目鏡筒可自由切換目視觀察與顯微攝影，攝影時可100%通光。
三、技術參數(shù)
1.目鏡
類型 放大倍數(shù) 視場(mm)
平場目鏡 10X φ18
2.物鏡
類別 放大倍數(shù) 孔徑數(shù)值 工作距離(mm)
無限遠長距平場消色差物鏡 5X 0.12 9.7
10X 0.25 9.3
20X 0.40 7.2
40X 0.60 3.0
3.光學放大倍數(shù)：50X 100X 200X 400X
4.三目鏡,傾斜30?,(內(nèi)置檢偏振片,可進行切換)
5.雙層機械移動式(尺寸:210mmX140mm,移動范圍:75mmX50mm)
6.粗微動同軸調(diào)焦, 微動格值:2μm,帶鎖緊和限位裝置
7.照明系統(tǒng)：落射 6V 20W 鹵素燈,亮度可調(diào),帶視場光欄、孔徑光欄、起偏振片
透射 6V 20W 鹵素燈,亮度可調(diào),內(nèi)置視場光欄, 藍濾色片和磨砂玻璃
8.阿貝聚光鏡NA.1.25可上下升降
9.濾色片：(黃,藍,綠,磨砂)
四、系統(tǒng)組成
(TBM-600):1.顯微鏡 2.適配鏡 3.攝像器(CCD) 4.A/D(圖像采集)
五、總放大參考倍數(shù)
TBM-600型：50—3500倍
六、選購件
1.目鏡: 10X分劃 2.物鏡:50X 60X 80X 3.二維測量軟件
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