表面形貌及微區(qū)成分分析
利用掃描電子顯微鏡(SEM)+X射線能譜儀(EDS)可對各種固體表面進(jìn)行形貌觀察,*大放大倍數(shù)可達(dá)30萬倍,同時(shí)利用特征X射線可對微區(qū)的成分進(jìn)行定性半定量分析。在金屬、半導(dǎo)體、陶瓷、催化劑、礦物、玻璃、PCB板等相關(guān)表面形貌及微區(qū)成分分析方面得到廣泛應(yīng)用。同時(shí)在零件斷口分析、表面異物分析等產(chǎn)品失效方面也發(fā)揮了關(guān)鍵性的作用。
SEM+EDS 特點(diǎn)
u SEM的二次電子成像分辨率約3nm
u EDS成分分析的元素范圍Be(5)~U(92)
u EDS分析深度約1μm
u 元素檢測下限約1%
u 空間分辨率約1μm
測試項(xiàng)目:? 固體材料表面的形貌觀察
? 金屬零部件斷口形貌觀察
? 粉末、微粒樣品形態(tài)和粒度的測定
? 鍍層厚度測量
? 固體材料表面、截面及微區(qū)成分
? 表面異物,銹蝕,斑點(diǎn)分析
? 樣品成分的線分布和面分布
? 錫須觀察和測量
適用產(chǎn)品和領(lǐng)域:
金屬、陶瓷、催化劑、礦物、玻璃、PCB板;滲氮、滲碳件,噴涂件, 薄膜件;金相切片樣,表面異物,金屬斷口;粉末材料,生物醫(yī)學(xué)材料等 |
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