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公 司: 東莞市昱和儀器設備有限公司 
發布時間:2024年05月14日
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公 司:東莞市昱和儀器設備有限公司

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詳細說明

    激光掃描共焦顯微鏡OLS300可進行如下檢測:
1)測量
2D測量:*佳測量范圍1.5mm~1μm;不僅是線寬度,也能進行圓的直徑等幾何測量。
3D測量:*佳測量范圍1mm~0.5μm;體積、容積、表面積等3D測量;可測量透明膜厚度。
粗糙度分析:*適合于Rz0.1μm程度的粗糙度分析;不公是線粗糙度,面粗糙度也能檢測。
2)3D形貌
能獲得3D色彩等多種多樣的信息 等高線顯示、網格狀顯示等方式體現3D信息。
利用微分干涉可識別表面的更加細微的凹凸信息。
3)高分辨率觀察
顯示器倍率為14,400倍。接近SEM的放大率。
接近SEM的高對比度的解像度。
可以分辨常規顯微鏡所不能的0.12μm的LINE和SPACE 利用微分干涉進一步提高分辨率。
實時觀察。
*大觀察范圍是2,560X2,560μm


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