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氮化鎵（GAN）氧化爐青島晨立電子有限公司

氮化鎵（GAN）氧化爐青島晨立電子有限公司//氮化鎵（GAN）氧化爐青島晨立電子有限公司

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公　司：青島晨立電子有限公司

發(fā)布時間：2024年10月23日

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姜經(jīng)理先生 (銷售)

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電　　話： 0532-88533525 傳　　真： 0532-67720618 手　　機： 13869885308 地　　址：中國山東即墨市山東省青島市即墨區(qū)泰山三路285號聯(lián)東U谷即墨科技創(chuàng)新谷3號樓郵　　編： 266200
公司主頁：	http://chenlidianzi.qy6.com.cn(加入收藏)

詳細說明

該設備用于氮化鎵（GAN）芯片生產(chǎn)工藝過程中的真空退火、合金、氧化、擴散等工藝。該系統(tǒng)具有精確溫度控制系統(tǒng)和真空壓力控制系統(tǒng)。

主要參數(shù)：

工作溫度范圍： 600-1280 度。

使用溫度：1200 度。

每爐可處理 25 片。標準晶圓舟 25 片。

爐管有效口徑：滿足 6 寸片，可向下兼容 4、2 寸。

升溫功率：18KVA/每管。

電源：三相五線制： 380V 三相五線。

具有斷偶、超溫報警以及二次保護功能。

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