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氧化擴散爐
氧化擴散爐//氧化擴散爐
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公 司:
青島福潤德微電子設備有限公司
發布時間:2024年10月24日
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徐魯陽
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青島福潤德微電子設備有限公司
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氧化擴散爐性能特點:
◆具有可編程的升、降溫功能
◆采用濾波器、屏蔽板等裝置,有效解決電網、磁場的干擾
◆windows xp全中文視窗操作系統,可儲存1000條曲線,每條曲線設置30步
◆自動運行中可暫停/繼續運行功能
◆智能升降溫斜率控制功能
◆PlD參數自整定功能,可存儲多組PlD參數供系統運行調用功能
◆系統故障的檢測與報警功能、系統誤差修正(單點或多點動態修正功能)
◆具有停電后斷點繼續運行功能
◆工藝方式:干法氧化、濕法氧化、水汽氧化
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