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福潤德-微控擴散爐,廠家直銷,支持定制,全國可做
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公 司:
青島福潤德微電子設備有限公司
發布時間:2024年09月13日
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0532-68017157
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15314229122
地 址:
中國山東青島市城陽區北萬工業園
郵 編:
266000
公司主頁:
http://frdwdz.qy6.com.cn
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公 司:
青島福潤德微電子設備有限公司
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詳細說明
擴散爐主要滿足半導體電力電子器件、大功率集成電路等行業,對所加工硅片進行擴散、氧化、退火、合金等工藝。主要由擴散爐加熱爐體、氣源系統、控制系統、超凈化操作系統等組成。選用工控機微控方式或者程控方式操作。
擴散爐技術指標:
可處理硅片尺寸:2—12英寸
外型形式:臥式1—4管結構
工作溫度:200℃—1300℃
恒溫區長度及精度:200mm—1100mm≤±0.5℃
單點溫度穩定性、重復性: ≤±1℃/24h
溫度斜變: 可控升溫速率15℃/min
可控降溫速率: 5℃/min
送片裝置:全自動懸臂推拉舟、拉桿式推拉舟
氣路系統:1—5路工藝氣體/管
氣體控制:全自動MFC
控制方式:工控機、觸摸屏
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