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公 司: 青島福潤德微電子設備有限公司 
發布時間:2024年09月13日
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公 司:青島福潤德微電子設備有限公司

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詳細說明

    擴散爐主要滿足半導體電力電子器件、大功率集成電路等行業,對所加工硅片進行擴散、氧化、退火、合金等工藝。主要由擴散爐加熱爐體、氣源系統、控制系統、超凈化操作系統等組成。選用工控機微控方式或者程控方式操作。

擴散爐技術指標:
可處理硅片尺寸:2—12英寸
外型形式:臥式1—4管結構
工作溫度:200℃—1300℃
恒溫區長度及精度:200mm—1100mm≤±0.5℃
單點溫度穩定性、重復性: ≤±1℃/24h
溫度斜變: 可控升溫速率15℃/min
可控降溫速率: 5℃/min
送片裝置:全自動懸臂推拉舟、拉桿式推拉舟
氣路系統:1—5路工藝氣體/管
氣體控制:全自動MFC
控制方式:工控機、觸摸屏

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