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擴散爐爐體,可根據需求定制
擴散爐爐體,可根據需求定制//擴散爐爐體,可根據需求定制
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公 司:
青島福潤德微電子設備有限公司
發布時間:2024年09月13日
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0532-68017157
手 機:
15314229122
地 址:
中國山東青島市城陽區北萬工業園
郵 編:
266000
公司主頁:
http://frdwdz.qy6.com.cn
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公 司:
青島福潤德微電子設備有限公司
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詳細說明
可完全代替進口爐體,--加熱爐絲,進口保溫材料,采用國外**進加工工藝,爐體可長期使用在高溫下,處理12英寸以下硅片,工作溫度2000℃-1286℃。
設備特點:
可保存多條工藝曲線每條曲線可設置多步
工藝曲線的自動運行控制功能
工藝中可強制跳到下一工藝步運行功能
自動運行中可暫停/繼續運行功能
可存儲多組PID參數供系統運行調用功能
PID參數自整定功能
工藝氣體的程序控制功能
關鍵部件全部具有高可靠性
具有良好的人機界面
系統故障自診功能
停電后斷點繼續運行功能等等
具有歷史記錄功能
具有多點溫度補償
技術指標:
可配置工藝管外徑2~8英寸
可配置工藝管數量:1~4管/臺
工作溫度范圍:400~1300℃
恒溫區長度及精度:300~1250mm 800~1300℃±0.5℃
單點溫度穩定性:800~1300℃±0.5℃/24h
大可控升溫速率:15℃/min
大降溫速率:5℃
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