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擴散爐爐體，可根據需求定制

擴散爐爐體，可根據需求定制//擴散爐爐體，可根據需求定制

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公　司：青島福潤德微電子設備有限公司

發布時間：2024年09月13日

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岳曉茜女士 (銷售)

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電　　話： 0532-68017157 傳　　真： 0532-68017157 手　　機： 15314229122 地　　址：中國山東青島市城陽區北萬工業園郵　　編： 266000
公司主頁：	http://frdwdz.qy6.com.cn(加入收藏)

詳細說明

可完全代替進口爐體，--加熱爐絲，進口保溫材料，采用國外**進加工工藝，爐體可長期使用在高溫下，處理12英寸以下硅片，工作溫度2000℃-1286℃。
設備特點：
可保存多條工藝曲線每條曲線可設置多步
工藝曲線的自動運行控制功能
工藝中可強制跳到下一工藝步運行功能
自動運行中可暫停／繼續運行功能
可存儲多組PID參數供系統運行調用功能
PID參數自整定功能
工藝氣體的程序控制功能
關鍵部件全部具有高可靠性
具有良好的人機界面
系統故障自診功能
停電后斷點繼續運行功能等等
具有歷史記錄功能
具有多點溫度補償
技術指標：
可配置工藝管外徑2～8英寸
可配置工藝管數量：1～4管/臺
工作溫度范圍：400～1300℃
恒溫區長度及精度：300～1250mm 800～1300℃±0.5℃
單點溫度穩定性：800～1300℃±0.5℃/24h
大可控升溫速率：15℃/min
大降溫速率：5℃

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