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擴散爐，可根據需求定制

擴散爐，可根據需求定制//擴散爐，可根據需求定制

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公　司：青島福潤德微電子設備有限公司

發布時間：2024年09月13日

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岳曉茜女士 (銷售)

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電　　話： 0532-68017157 傳　　真： 0532-68017157 手　　機： 15314229122 地　　址：中國山東青島市城陽區北萬工業園郵　　編： 266000
公司主頁：	http://frdwdz.qy6.com.cn(加入收藏)

詳細說明

◆工作溫度：300~1300℃
◆有效口徑根據用戶擴散片確定，可訂制
◆恒溫區長度：1080mm（可根據用戶要求定制）
◆溫區精度（靜態閉管測試）：
600℃＜工作溫度＜1200℃：±0.5℃
300℃≤工作溫度≤600℃：±1℃
◆單點溫度穩定性（靜態閉管測試）：
600℃＜工作溫度＜1200℃：±0.5℃/24h
300℃≤工作溫度≤600℃：±1℃/24h
◆溫度斜變能力：
可控升溫速度（300～1300℃）：15℃/min
降溫速度（1300～900℃）：5℃/min
◆氣體流量設定精度：±2％FS
◆氣路系統氣密性：1×10-7PA.m3/s
◆自動送料裝置行程：~2000mm
速度：5~1000mm/min
SiC漿承重 19kg
◆裝片數量 400片/管
◆凈化臺潔凈度 100級（10000級廠房）
◆三相五線制 380V±10%，50Hz±10%Hz；
◆冷卻水：2～4Kgf/cm2，～8

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