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DM系列雙頻匹配器 DM系列雙頻匹配器//DM系列雙頻匹配器

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公 司: 天津吉兆源科技有限公司 
發(fā)布時(shí)間:2024年10月18日
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公 司:天津吉兆源科技有限公司

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詳細(xì)說明

    DM系列雙頻匹配器

產(chǎn)品性能:

該匹配器能夠提供快速、準(zhǔn)確和可靠的阻抗變換。可變電容由電機(jī)驅(qū)動(dòng),電機(jī)通過計(jì)算主板控制。

采用高速的匹配算法,可以調(diào)節(jié)電機(jī)的轉(zhuǎn)速,即使是高Q值的系統(tǒng)也能達(dá)到準(zhǔn)確的匹配效果。

通過調(diào)整內(nèi)部繼電器,調(diào)節(jié)不同檔位,達(dá)到匹配。

應(yīng)用對象:

該雙頻匹配器主要應(yīng)用對象包括:刻蝕、PECVD系統(tǒng)


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