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多功能高不銹鋼真空磁控離子濺射鍍膜機

多功能高不銹鋼真空磁控離子濺射鍍膜機//多功能高不銹鋼真空磁控離子濺射鍍膜機

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公　司：湘潭市宏鋒機械設備制造廠

發布時間：2024年06月24日

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黃柳陽女士 (銷售主管)

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電　　話： 0731-58282058 傳　　真： 86-0731-55567993 手　　機： 18773272772 地　　址：中國湖南湘潭市湘潭經開區伏林東路6號郵　　編： 411100
公司主頁：	http://hongfengvacuum.qy6.com.cn(加入收藏)

詳細說明

多功能磁控濺射鍍膜機技術方案多功能磁控濺射鍍膜機（高真空磁控濺射儀）是用磁控濺射的方法，制備金屬、合金、化合物、半導體、陶瓷、介質復合膜及其它化學反應膜等；適用于鍍制各種單層膜、多層膜、摻雜膜系及合金膜；可鍍制磁性材料和非磁性材料。多功能磁控濺射鍍膜機-設備關鍵技術特點秉承設備為工藝實現提供實現手段的理念，我們做了如下設計和工程實現，實際運行效果良好，為用戶的專用工藝實現提供了精準的工藝設備方案。靶材背面和濺射靶表面的結合處理 -靶材和靶面直接做到面接觸是很難的，如果做不到面接觸，接觸電阻將增大，導致離化電場的幅值不夠（接觸電阻增大，接觸面的電場分壓增大），導致鍍膜效果不好；電阻增大導致靶材發熱升溫，降低鍍膜質量。 -靶材和靶面接觸不良，導致水冷效果不好，降低鍍膜質量。 -增加一層特殊導電導熱的軟薄的物質，保證面接觸。

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