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納米級硅溶膠應用于電子拋光CMP磨料拋光液

納米級硅溶膠應用于電子拋光CMP磨料拋光液//納米級硅溶膠應用于電子拋光CMP磨料拋光液

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公　司：江門市惠和永晟納米科技有限公司

發布時間：2024年06月05日

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詳細說明

硅溶膠廣泛用作3C產品和晶圓、芯片、半導體等精密電子元器件生產的研磨材料。硅溶膠的超細膠粒能夠有效地拋光表面，確保平整度，同時*小化表面缺陷。

磨料載體：
硅溶膠作為磨料的主要載體，在拋光過程中提供磨料的分散和固定，并在拋光過程中釋放磨料以實現材料的研磨和去除。

控制拋光速度：
硅溶膠的粒徑分布可以影響拋光速度和表面質量。通過調整硅溶膠的粒徑及相關參數，可以實現對拋光速度的控制，提高生產效率。

表面質量改善：
硅溶膠膠粒的細小尺寸有助于填補微小的表面缺陷，提高拋光的表面質量。它能夠平滑表面、去除劃痕和瑕疵，實現更光滑和均勻的表面。

控制拋光壓力：
硅溶膠作為拋光液中*主要成分，可以調節拋光液的黏度和流動性，從而控制拋光時的壓力。適當的拋光壓力有助于提高拋光的速率，同時避免劃傷或其他拋光缺陷，實現拋光效率和拋光質量的平衡。

熱穩定性：
硅溶膠具有良好的熱穩定性和耐熱性，它能夠在研拋過程中保持研拋介質溫度的基本穩定，減少熱應力對設備和產品的影響，并提供持久的拋光性能。

優勢：
1.超高純度硅溶膠以降低污染和表面缺陷的風險

2.大膠粒尺寸的硅溶液以實現更好的拋光速度并保證產品的表面質量

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