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高低溫載物臺CHUCK 高低溫載物臺CHUCK//高低溫載物臺CHUCK

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公 司: 成都中冷低溫科技有限公司 
發(fā)布時(shí)間:2024年10月21日
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公 司:成都中冷低溫科技有限公司

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詳細(xì)說明

    高低溫載物臺CHUCK
是一款溫度范圍為-65℃到200℃氣冷型高低溫卡盤系統(tǒng),主要由氣冷高低溫卡盤和氣冷溫控器組成。系統(tǒng)具有寬泛的溫度控制范圍、緊湊的冷卻套件、純空氣制冷、高溫度精度與穩(wěn)定性控制等特性,應(yīng)用于八英寸及以下尺寸的半導(dǎo)體器件或晶圓的變溫電學(xué)性能關(guān)鍵參數(shù)分析,如:功率器件建模測試、晶圓可靠性評估、生產(chǎn)型變溫檢測,變溫光電測試、射頻變溫測試等。



高低溫載物臺CHUCK
特征:
使用空氣冷卻—無液體或帕爾貼元件
溫度范圍為-65℃到200℃
模塊化系統(tǒng),適合單獨(dú)測試的需要
冷卻劑占地面積小,節(jié)省空間
兼容各大主流生產(chǎn)型或分析型探針臺
可集成全套的軟硬件于一體





高低溫載物臺CHUCK

型號 TC-A200 TC-A300

溫度范圍 -65℃→+200℃;可選300℃、400℃

溫度均勻性 <±0.5℃@<100℃;±0.5%@>100℃

溫控系統(tǒng)分辨率 ±0.01℃

溫度穩(wěn)定性 ±0.1℃

表面平整度 <±8μm@-60℃→+200℃;<±15μm@200℃→+300℃

溫控方式 電加熱/潔凈壓縮空氣(CDA)冷卻

表面材料 鍍鎳(可選鍍金)


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